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Referenzen
SiCrystal ist einer der globalen Marktführer für einkristalline Siliziumkarbid-Halbleiterwafer. Die hochspezialisierten Produkte bilden die Basis für die Herstellung innovativer Elektronik-Komponenten für weltweite Schlüsselkunden. Siliziumkarbid-Wafer sind mit hoher Präzision gearbeitete Scheiben mit einer Dicke von 350 Mikrometern (etwa 1/3 Millimeter) und einem Durchmesser von typischerweise 150 Millimetern. Diese Wafer müssen eine äußerst anspruchsvolle, vom Kunden detailliert vorgegebene Spezifikation erfüllen und erfordern eine hochsensible Fertigungsausrüstung.
Die Lösung: Eine maßgeschneiderte Reinstwasseranlage für höchste Reinheit von EnviroFALK
In enger Abstimmung mit dem Ingenieurbüro und der Wilhelm Werner GmbH entwickelte EnviroFALK PharmaWaterSystems eine Reinstwasseranlage, die optimal auf die hohen Anforderungen der SiCrystal GmbH abgestimmt ist. Die Lösung umfasst ein MakeUp-System mit einer Produktionskapazität von 4 m³/h, das durch Enthärtung, Umkehrosmose und eine CEDI-Stufe hochreines VE-Wasser mit einer Leitfähigkeit von < 0,2 µS/cm liefert. Dieses Wasser wird in einem 20 m³ Puffertank gelagert, der aus PP-natur besteht und mit einem Sterilfilter sowie einem CO2-Adsorber vor Rekontamination geschützt ist. Zwei redundante Ringleitungspumpen leiten das Wasser durch parallele UV-Oxidationsanlagen, bevor es über Reinstharzpatronen und eine 0,20 µm Filtration in die drei Nassprozess-Subloops eingespeist wird.
Die Vorteile der EnviroFALK Wasseraufbereitung
Unsere maßgeschneiderten Lösungen erfüllen höchste Reinheitsstandards und sind speziell auf die Anforderungen der Halbleiterproduktion abgestimmt. Sie gewährleisten eine effiziente und konstante Versorgung der Nassprozesse mit hochreinem Wasser. Durch eine kompakte und effektive Lagerung und Verteilung wird das Risiko einer Rekontamination minimiert. Eine termingerechte Realisierung in enger Abstimmung mit allen Beteiligten sorgt für eine optimale Systemintegration. Gleichzeitig sichern unsere zuverlässigen Wasseraufbereitungs- und Verteilungssysteme nachhaltig die Produktqualität.
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