Die Herstellung von Halbleiterprodukten und sensitiven Microbauteilen für Optik, Solar und anderen Einsatzzwecken erfordern je nach Oberflächenbeschaffenheit, Endprodukt und Prozessschritt unterschiedlichste Wasserqualitäten. Am Ende aber steht immer ULTRA PURE PROCESS WATER: ultraniedrige Konzentrationen von gelösten Ionen (≥ 18,2 MegOhm), low TOC (< 0,5 ppb), Partikelfreiheit (< 0,05 µm) sowie Kationen und Anionen im untersten ppt-Bereich (< 5 ppt). Wir nutzen mit unserem hohen Engineering- Know-How eine breite Palette für eine optimale Kombination verschiedenster Verfahrenstechniken. Seit mehr als 40 Jahren realisieren wir HIGH PURITY – Polishersysteme in applikationsgerechter und kundenspezifischer Ausführung bis zu einer Leistung von 20 m3/h. Die Polisher dieser UPW-Anlagen, mit einem Volumen bis 600 l, werden ausschließlich mit hochwertigen Semiconductor-grade Reinstharzen befüllt. Zusätzliche Scavenger mit TOC-Adsorber sichern niedrigste organische Bestandteile im Reinstwasser, die durch eine zusätzliche UV-Oxidation bis auf < 0,5 ppb TOC reduziert werden können. Ebenso werden Werkstoffe und medienberührenden Materialien individuell auf kundenspezifische Anforderungen abgestimmt: Basic-Systems mit PP-Piping oder Advanced-Systems in PVDF-HP-Piping (IR Plus® oder WNF®). Ein Lager- und Verteilsystem adaptieren wir mit entsprechendem Messequipment und Prozessüberwachung und vervollständigen komplexe HIGH PURITY – Lösungen für Ihre sensitiven und prozesssicheren Reinstwasser-Anwendungen. Grüner Wasserstoff HIGH PURITY AT ITS BEST – ULTRA PURE WATER
JUST PURE – JUST SAVE
Modulare Baugruppen von 5-330 l/min für HIGH PURITY – Erzeugeranlagen
Aufbau mit Polishing, Mikrofiltration, Ultrafiltration, UV-Desinfektion und TOC-Oxidation
Entgasung zur Sauerstoffreduktion
Minimale Partikelkonzentration im Submicronbereich
Ausführung als Package Unit oder in Bausteinen
Je nach Kundenspezifikation komplett mit Vorbehandlung RO-EDI
Optionale modulare Ausbaufähigkeit
Reclaim-Einheit zur Wasser-Wiedergewinnung
Realisierung höchster Ausbeuten zur Ressourcengewinnung
Steuerung mit Siemens S7-1200/1500 und ET200-SP mit Basis HMI oder IPC