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Ultra Pure & Industrie
Wasseraufbereitung für die Halbleiterproduktion
Mit über 40 Jahren Erfahrung setzt EnviroFALK PharmaWaterSystems GmbH auf eine breite Palette bewährter Verfahrenstechniken, um kundenspezifische und applikationsgerechte HIGH PURITY-Polishersysteme zu entwickeln. Unsere UPW-Anlagen erreichen Kapazitäten von bis zu 20 m³/h und bieten eine Kombination aus fortschrittlicher Filtration und Polishing-Systemen. Die Polisher dieser Anlagen, mit einem Volumen bis zu 600 Litern, sind mit hochwertigem Reinstharz in Semiconductor-Qualität befüllt, um die Anforderungen der Halbleiter- und High-Tech-Industrie präzise zu erfüllen.
Innovative Verfahrenstechnik für individuelle UPW-Lösungen
Die Anforderungen an hochreines Wasser (UPW) in der Halbleiterproduktion und in der Herstellung empfindlicher Mikroteile für Optik, Solar und andere High-Tech-Anwendungen sind enorm. Je nach Oberflächenbeschaffenheit, Endprodukt und Prozessschritt variiert die benötigte Wasserqualität, doch am Ende zählt immer dasselbe Ziel: ULTRA PURE PROCESS WATER. Dieses Wasser weist extrem niedrige Konzentrationen an gelösten Ionen (≥ 18,2 MegOhm), minimale organische Verunreinigungen (TOC < 0,5 ppb), Partikelfreiheit (< 0,05 µm) sowie Kationen und Anionen im untersten ppt-Bereich (< 5 ppt) auf.
EnviroFALK PharmaWaterSystems GmbH bietet maßgeschneiderte Lösungen, die exakt auf diese anspruchsvollen Anforderungen zugeschnitten sind.
JUST PURE – JUST SAVE
Wir nutzen mit unserem hohen Engineering- Know-How eine breite Palette für eine optimale Kombination verschiedenster Verfahrenstechniken. Seit mehr als 40 Jahren realisieren wir HIGH PURITY – Polishersysteme in applikationsgerechter und kundenspezifischer Ausführung bis zu einer Leistung von 20 m3/h.
Die Polisher dieser UPW-Anlagen, mit einem Volumen bis 600 l, werden ausschließlich mit hochwertigen Semiconductor-grade Reinstharzen befüllt. Zusätzliche Scavenger mit TOC-Adsorber sichern niedrigste organische Bestandteile im Reinstwasser, die durch eine zusätzliche UV-Oxidation bis auf < 0,5 ppb TOC reduziert werden können. Ebenso werden Werkstoffe und medienberührenden Materialien individuell auf kundenspezifische Anforderungen abgestimmt: Basic-Systems mit PP-Piping oder Advanced-Systems in PVDF-HP-Piping (IR Plus® oder WNF®).
Maßgeschneiderte Reinstwasserlösungen für die Halbleiterindustrie
EnviroFALK PharmaWaterSystems liefert keine Lösungen von der Stange, sondern entwickelt stets kundenspezifische Lösungen, wie zum Beispiel unser patentiertes Antistatic Pure Water System (APWS), das durch die individuelle Dosierung des CO2- Eintrags eine Erhöhung der Scheinleitfähigkeit im Sägeprozess der Halbleiterfertigung ermöglicht. Weitere Innovationen aus unserem Hause sind z. B. Temperier- und Kühl- sowie Dosiersysteme für Reinstwasser.
Wasseraufbereitung von EnviroFALK bietet der Industrie handfeste Vorteile:
- Modulare Baugruppen von 5-330 l/min für HIGH PURITY – Erzeugeranlagen
- Aufbau mit Polishing, Mikrofiltration, Ultrafiltration, UV-Desinfektion und TOC-Oxidation
- Entgasung zur Sauerstoffreduktion
- Minimale Partikelkonzentration im Submicronbereich
- Ausführung als Package Unit oder in Bausteinen
- Je nach Kundenspezifikation komplett mit Vorbehandlung RO-EDI
- Optionale modulare Ausbaufähigkeit Weiterverarbeitung und in den Lagerräumen
- Reclaim-Einheit zur Wasser-Wiedergewinnung
- Realisierung höchster Ausbeuten zur Ressourcengewinnung
- Steuerung mit Siemens S7-1200/1500 und ET200-SP mit Basis HMI oder IPC
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